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浙江拉力传感器双面接触式电容压力传感器由3个硅晶片用硅熔融法进行键合，先把晶片A正反两面腐蚀两个同样大小的沟槽来作为传感器的真空腔，然后在这两个大沟槽上淀积一层二氧化硅作为绝缘层，同时把晶片A作为双面接触式电容压力传感器的公共下电极，接着把两片用浓的固态硼扩散好的晶体B用熔融键合的办法键合在晶片A的正反两面。拉力传感器价格用离子刻蚀法刻蚀掉晶片B外层的重掺杂层，紧接着用自停止腐蚀法去掉轻掺杂层，得到里面的重掺杂层作为传感器的上电极。

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