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假如力传感器过载后果和简单的保护方法

2024-03-06 16:39:34

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力传感器有很多参数指标，其中有一项是过载保护，过载就是负荷过大，超过了设备本身的额定负载，产生的现象是电流过大，用电设备发热，线路长期过载会降低线路绝缘水平，甚至烧毁传感器设备或线路；过载保护就是即使负荷超过了额定负载也不会出现烧坏线路的情况，但是也有一个度，一般是150%的范围内，而且不能持续过载工作。

传感器

力传感器有很多形式，每种结构形式的过载保护设计方法也是各不相同的，众多方法都有各自的优点和缺点，采用MEMS技术的小量程、高灵敏力传感器通常有平膜、岛膜、梁膜等结构，在设计过载保护时，一般采用凸台等方法实现，形成方法有背部刻蚀技术、硅直接键合技术、玻璃刻蚀技术等。然而这些结构一般都有一个很大的局限性就是腔体尺寸较大，进一步提高灵敏度受到限制，而且降低了硅片利用率，增加了力矩传感器制造工艺的复杂度，提高了生产成本。

目前，小量程、高灵敏力传感器的研究热点集中在牺牲层结构力传感器，这主要是因为牺牲层结构力传感器弹性膜片很薄，厚度可做到2μm，甚至更薄。在这样薄的结构上，如果采用扩散硅或多晶硅薄膜作为牺牲层结构力传感器的应变电阻，其厚度相对较大，对弹性膜片应力分布影响很大，不利于牺牲层结构压力传感器的性能优化，因此采用多晶硅纳米薄膜制作应变电阻更能发挥牺牲层技术的优点。

过载保护是每种传感器都要考虑的，因为在使用过程中可能会出现测量值大于量程的情况，只有设计了过载保护的传感器才能更加好的使用，也才能使用得更久。具体每种传感器的过载保护是如何设计的，过载范围是多少都是不同的，所以不管是买哪种传感器厂家要了解它的过载保护是多少，这样才能更加好的方便使用，在未来使用过程中也不会出现由于过载烧坏电路的情况。